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【名称】SHASHIN KAGAKU写真化学 成像膜厚监视器
【产品型号】
【产品价格】0.00
【品牌】SHASHIN KAGAKU写真化学
SHASHIN KAGAKU写真化学 成像膜厚监视器 SHASHIN KAGAKU写真化学

成像膜厚监视器是一种计量工具,可以可视化透明多层膜的膜厚分布。 它可以通过使用光谱反射计以 0.1nm 的厚度分辨率可视化薄膜厚度分布。

SHASHIN KAGAKU写真化学 成像膜厚监视器
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成像膜厚监视器是一种计量工具,可以可视化透明多层膜的膜厚分布。
它可以通过使用光谱反射计以 0.1nm 的厚度分辨率可视化薄膜厚度分布。

  • 判断混合层的混合比例
  •  
  • 多晶硅的结晶度
  1. 可视化薄膜厚度均匀性
    • 在显微镜视野中测量薄膜厚度/质量,显示 3D 分布
  2. 膜厚分辨率 : <0.1nm
    • 良好的厚度分辨率,相当于光谱测定工具。
    • 波长可在 450nm 至 750nm 范围内选择,精度为 1nm。
  3. 高速 / 高达 9 层的多层测量
    • 通过光谱反射法进行并行处理

    **应用程序

    1. (1) 数百种重复薄膜,如带通干涉滤光片和复合多层薄膜,如沟槽结构
    2. (2) 使用有效介质近似 (EMA) 进行亚微米花样密度估计
    3. (3) 激光退火等局部区域结晶度评估
  1. 测量物镜视场指定区域的膜厚分布。
    • 使用 1x 对象测量 6.6x8.8 mm□ 面积。
    • 使用 50x obj 测量 0.5um 空间分辨率。

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