白光干涉式位移传感器 使用分光干涉原理的位移计,可以进行非常高精度的测量。由于光点直径小,适合小型零件的测量。无论测量对象物的材质如何都可以测量,如果是透明体的话,可以从一侧用一根传感器测量厚度。与共焦光学式传感器相比,由于设置距离较长,可以从较远的位置进行测量。 纳米级的距离和厚度测量 距离测量:IMS5400-DS/5600-DS,厚度测量:5400-TH
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