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各制程储藏玻璃的片夹盒，使之轻松完成定位作业的位置决定器。 无尘室专用位置决定器。 导入事例 技术信息 ILS型 ■概况 各制程储藏玻璃的片夹盒，使之轻松完成定位作业的位置决定器。 适用于7代、8代的大尺寸规格，或为了改善以往小型生产线的小尺寸规格，ILS 的采用实绩日益增多。与万向球支撑的旧机型相比，ILS位置决定器不仅体积简洁，承载荷重大，能全方向移动顺利地完成片夹盒的定位作业。 当释放荷载后，ILS的可动部可迅速恢复至原点等待下一个片夹盒的装载作业。 另外，也可提供可动部利用气压锁定功能的S型定位台。 〈**产品〉
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