广东,KONSEI近藤,单晶圆型爪手 WHF-200AS - 纳加霍里科技（深圳）有限公司

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お客様のご仕様に合わせて設計製作します。実績豊富、まずはお問い合わせください。エッジクランプだから表裏面に接触しません。

■固定搬送
クランプして搬送することで、あらゆる搬送姿勢に対応可能です。装置の高速化に伴う芯ズレを防止します。
■ウエハ表裏に対して非接触
エッジのみに接触し、クランプ・吸着搬送に伴うパッド痕の心配がありません。
■クリーン度クラス1対応
■WHF シリーズ
サイドアームとメインフォークの両側（同期）駆動式エッジクランプ
クリーン梱包はしておりません。

仕様

型式		ＷＨＦ-200ＡＳ	ＷＨＦ-300ＡＳ
搬送ワーク		ウエハ
ワークサイズ		φ200	φ300
搬送方式		エッジクランプ
搬送枚数		１枚
駆動方式	閉方向	スプリング（クランプ方式）
駆動方式	開方向	バーキューム圧－60KPa ～95KPa （負圧シリンダ採用）
動作ストローク		10 ㎜（クランプ7㎜クランプシロ3㎜）
把持力		２．４Ｎ～１．９Ｎ
クリーン度		FED 規格クラス１（吸引要）
フォーク材質		ＣＦＲＰ
駒・仮受け座・パット		ＰＥＥＫ
本体重量		約1.2Kg	約1.7Kg
オプション		開閉確認センサー

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