日机自动化设备(深圳)有限公司
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■固定搬送 クランプして搬送することで、あらゆる搬送姿勢に対応可能です。装置の高速化に伴う芯ズレを防止します。 ■ ウエハ表裏に対して非接触 エッジのみに接触し、クランプ・吸着搬送に伴うパッド痕の心配がありません。 ■ クリーン度クラス1対応 ■WHA シリーズ サイドアームのみの片側駆動式エッジクランプ
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